특수 가스
특수가스 (Specialty Gases)
특수가스는 일반 산업용도가 아닌 특수한 용도로 사용하기 위해 정제/혼합/추출/화학반응 등의 공정을 거쳐 제조된 고순도(99.99%이상) 및 초고순도(99.999%이상) 가스를 의미하여 전자&반도체가스(Electronic & Semiconductor Gases), 표준가스(Standard Gases), 희귀가스(Rare Gases), 혼합가스(Mixed Gases) 등이 큰 의미의 특수가스에 포함된다.
고순도가스 (순도 99.999%, 99.9999%)
◎고순도 가스(O2, Ar, N2, CO2, He, H2, C2H2)
◎고순도 가스의 특성
고순도 가스는 금속, 석유화학, 자동차 공업, 반도체 산업 및 각종 실험, 연구생산용 등으로 사용되어지고 있습니다. 고순도 가스는 무기계와 유기계로 나누어 지는데 무기계는 네온, 산소, 수로, 아르곤, 헬륨 등이며 유기계는 탄화수소 화합물인 메탄, 에탄, 프로판 등이 있습니다.
◎고순도 가스의 용도
각종 분석기 / 금속산업의 분광분석기 / 반도체산업의 독성가스 Purge, Epitaxy, Diffusion, Oxide, SSputtering 공정 등 / 전구의 주입용 가스 / 석유화학공업 등
혼합가스 (Mixed Gas)
레이저, 식품, 용접, 조명 해저탐사 등 각 산업분야에서 다양하게 사용되는 혼합가스는 필요한 농도로 혼합된 2가지 이상이 고순도 가스로 이루어진다. 산업의 발달로 인하여 소요되는 다양한 종류의 혼합가스는 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 중요하며 철저한 품질관리와 정밀분석법으로 제품관리에 만전을 기하고 있습니다.
◎혼합가스의 요건
균질성 : 혼합가스 성분의 균질성은 혼합가스의 가장 중요한 요건으로 완전히 균질화 되어 있는 것이어야 한다.
정망성 : 제조정밀도 - 희망하는 농도와 실제로 얻어진 농도와의 최대 편차를 말합니다.
분석정밀도 - 분석 결과의 실제의 농도로서 추정되는 실제값과의 최대 편차를 말합니다.
장치값의 정확성 : 분석기기의 정밀도를 감안하여 ±2% 이내로 합니다.
◎혼합가스의 용도
-각종 용접의 분위기 가스 / 레이저용 / 뇌혈류 및 폐기능 측정 등의 의료용 특수용접
-용해로 / 명용 광원 / 방사능 측정 / 특수분석기기 등
◎기타 특수가스
가스명 | 순도 | 공급형태 | 용도 |
SF6 | 99.9% | 48kg, 600kg | 초고합절연용 |
CH4 | 99.95% | 10L, 47L | 열량측정용 |
HCI | 99.9% | 25kg, 500kg | 제약합성용 |
Ne | 99.999% | 10L, 40L, 47L | 조명 PDP Panel용, LCD 백라이트용 |
Kr | 99.999% | 10L, 40L, 47L | 조명용 |
Xe | 99.999% | 10L, 40L, 47L | 조명, PDP Panel용 |
SO2 | 99.9% | 5kg, 50kg | 식품표백용 |
CO | 99.9% | 10L, 40L, 47L | 환경측정용 |
NO2 | 99.9% | 5kg | 혼합가스원료용 |
N2O | 99.0% | 18kg | AA분석기용 |
NO | 99.9% | 10L, 40L, 47L | 환경측정용 |
H2S | 99.9% | 30kg | 석유화학공정용 |